產(chǎn)品[
高溫循環(huán)裝置 加熱溫度控制器
]資料
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產(chǎn)品名稱:
高溫循環(huán)裝置 加熱溫度控制器
產(chǎn)品型號:
TEX-25A
產(chǎn)品展商:
日本TAITEC
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
高溫循環(huán)裝置 加熱溫度控制器 TEX-25A
·氟作為專用熱媒、控制循環(huán)裝置加熱溫度
·半導體制造裝置的加熱溫度控制
·化學制品的生產(chǎn)系統(tǒng)加熱溫度控制
·無液漏之憂的泵，通過逆變器進行控制
高溫循環(huán)裝置 加熱溫度控制器的詳細介紹
高溫循環(huán)裝置 加熱溫度控制器
TEX-25A
氟作為專用熱媒、控制循環(huán)裝置加熱溫度
主要用途
●半導體制造裝置的加熱溫度控制
●化學制品的生產(chǎn)系統(tǒng)加熱溫度控制
主要特點
氟作為專用熱媒，控制高溫度領域
氟作為熱媒介專用設計，可在＋70℃～＋200℃的高溫度內(nèi)準確的控制加熱溫度(冷卻用途不能使用)。
無液漏之憂的泵，通過逆變器進行控制
使用了磁鐵耦合型密封泵，無液體泄漏。
可短時間內(nèi)降溫
冷卻線圈中一次冷卻水在循環(huán)時，維修保養(yǎng)時可在短時間降低溫度。
技術參數(shù)
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型號
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TEX-25A
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使用溫度范圍
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+70℃～+200℃
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溫度調(diào)節(jié)精度
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PID控制、±2.0℃(*1)
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功率輸出
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2.5kW
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泵能力
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流量：10L/min(0.2MPa、60Hz時)
功率輸出：0.75kW
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升溫／降溫時間
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升溫時間(+70℃→+200℃)：約30分(冷卻水OFF)
降溫時間(+200℃→+70℃)：約25分(冷卻水ON)
冷卻水條件：約8L/min at +20℃(*2)
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安全器/安全功能
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漏電斷路器、高溫、溫度異常、防止空燒、液面上限、泵超負荷
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輸入/輸出功能
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遠程信號輸入、加熱器ON/OFF輸入、冷卻水ON/OFF輸入、溫度監(jiān)視器信號輸出、安全器操作信號外部輸出
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適用熱媒體(循環(huán)液)
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GALDEN HT270
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循環(huán)液罐容量
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約3L(＋備用罐：約7L)
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配管連接口徑(循環(huán)液出入口、一次冷卻水出入口)
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Rc1/2、Rc1/2
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外形尺寸
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405×692×811Hmm
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重量
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約80kg
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電源
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三相AC200V?50/60Hz?15A
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運轉(zhuǎn)電流
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12A
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(*1)裝置單體無負荷情況下，循環(huán)流量在5L/min以上。
(*2)裝置單體無負荷情況下。
●本產(chǎn)品使用環(huán)境溫度范圍為+7℃～+35℃。
●本機為大型、重量機器，運送、安裝等費用需另付。
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